Sensor de temperatura i humitat per a l'esquema de control de la humitat de la temperatura de la sala neta de semiconductors
Mostra de productes
La temperaturaiLa humitat de l'espai net es determina principalment segons els requisits del procés, però a condició de complir els requisits del procés, s'ha de tenir en compte la sensació de confort.Amb la millora dels requisits de neteja de l'aire, hi ha hagut una tendència a requisits cada cop més estrictes de temperatura i humitat.
A mesura que la precisió del processament és cada cop més fina, el rang de fluctuació de temperatura és cada cop menor.Per exemple, en el procés d'exposició litogràfica de la producció de circuits integrats a gran escala, la diferència de coeficient d'expansió tèrmica entre vidre i hòstia de silici com a material de màscara ha de ser cada cop més petita.L'hòstia de silici de 100 um de diàmetre, augment de la temperatura 1 grau, provocarà una expansió lineal de 0,24 um, de manera que hi ha d'haver una temperatura de ± 0,1 graus, alhora que el valor d'humitat és generalment baix, perquè la gent sua, el producte tindrà contaminació, especialment por del taller de semiconductors de sodi, aquest taller no ha de superar els 25 graus.
L'alta humitat causa més problemes.Quan la humitat relativa supera el 55%, es formarà rosada a la paret de la canonada d'aigua de refrigeració, cosa que provocarà diversos accidents si passa en dispositius o circuits de precisió.Quan la humitat relativa és del 50%, és fàcil d'oxidar-se.A més, quan la humitat és massa alta, la pols enganxada a la superfície del xip de silici s'adsorbeix químicament a la superfície per resistir l'eliminació.Com més gran sigui la humitat relativa, l'adhesió és difícil d'eliminar, però quan la humitat relativa és inferior al 30%, les partícules són fàcils d'adsorbir a la superfície a causa de l'acció de la força electrostàtica, i hi ha un gran nombre de dispositius semiconductors. propens a l'avaria.El rang de temperatura òptim per a la producció d'hòsties és del 35-45%.
Per tant, el control de la temperatura i la humitat és especialment important, HENGKO us pot proporcionar una sèrie desolucions de processament personalitzades del transmissor de temperatura i humitat!
Sensor de temperatura i humitat per a l'esquema de control de la humitat de la temperatura de la sala neta de semiconductors
No trobeu un producte que s'adapti a les vostres necessitats?Poseu-vos en contacte amb el nostre personal comercialServeis de personalització OEM/ODM! 
