Filtres C-Seal de muntatge superficial IGS avançats per a sistemes de gas semiconductor ultrapur
Descripció
Els filtres de muntatge superficial HENGKO estan dissenyats per complir els requisits exigents dels sistemes de gas integrats utilitzats en eines OEM de semiconductors. Amb una filtració líder en la indústria a 0,003 µm, aquests filtres garanteixen un rendiment i una fiabilitat excepcionals amb una eficiència d'intercepció de partícules de ≥99,9999999% (9-LRV) a 120 slpm.
Construïts amb robust acer inoxidable 316L sinteritzat en pols per a l'element filtrant i la carcassa, aquests filtres compleixen amb les especificacions SEMI F86-0304, amb components de dos ports adaptats per a sistemes de distribució de gas d'1,125" amb una configuració de segell en C. Admeten una pressió d'entrada màxima de 3,4 MPa a 100 °C i un diferencial de pressió de funcionament màxim de 0,69 MPa a 100 °C.
Aquests filtres especialitzats, compatibles amb les especificacions de segellat de tipus C i W, aconsegueixen una neteja posterior amb l'alliberament de partícules de
Amb un acabat superficial de Ra< 1,6 µm a l'exterior i RaAmb una densitat interior inferior a 0,13 µm, estan dissenyats per suportar temperatures elevades de fins a 460 °C. Dissenyats per a una fàcil integració i actualitzacions de disseny modular, aquests filtres simplifiquen la instal·lació i el manteniment, cosa que ajuda a optimitzar el rendiment del sistema en aplicacions de control i subministrament de gasos semiconductors.
Característica del producte
▶ Construcció general d'acer inoxidable 316L
▶ Disseny miniaturitzat, estructura compacta, estalvi d'espai
▶ Excel·lents característiques de reemplaçament i desorció de gasos
▶ Resistent a altes temperatures, altes pressions i a la corrosió
▶ Carcassa d'acer inoxidable 316L electropolit
▶ Instal·lació i manteniment fàcils i eficients
▶ Segellat mecànic, estructuralment no soldat al medi
Fitxa tècnica
| Paràmetres tècnics | Valors |
|---|---|
| Material de l'element filtrant | Pols sinteritzada d'acer inoxidable 316L |
| Material de l'habitatge | Acer inoxidable 316L |
| Pressió màxima d'entrada | 3,4 MPa a 100 °C |
| Diferencial màxim de funcionament | 0,69 MPa a 100 °C |
| Taxa de fuites de verificació d'heli | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Taxa de fuites de la prova d'heli | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Tractament de superfícies | Superfície exterior Ra< 1,6 μm |
| Superfície interior Ra< 0,13 μm | |
| Temperatura màxima de funcionament | 460 °C |
| Eficiència d'intercepció de partícules | ≥99,9999999% (9-LRV) a 120 slpm (MPPS de referència, totes les partícules) |
| Neteja aigües avall | Alliberament de partícules:< 0,03 partícules/litre (< 1 partícula/ft³) |
| Volàtils:< 10 ppb d'humitat | |
| Mida d'intercepció de partícules | ≥0,003 μm |
| Rang de flux | 0 ~ 120 slpm |
Mida
Aquí teniu el número de peça que podeu demanar i els detalls de la mida:
| Model de producte | cabal | Alçada (mm) | Precisió de filtració | Nivell de neteja |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Aplicacions típiques
Per a ús amb sistemes modulars de subministrament de gas de muntatge superficial amb segell W i segell C, d'1,125" i 1,5".
Envia'ns el teu missatge:
